真空泵概述
真空泵是一种气体输送机械，使用机械、物理、化学或物理化学方法，从容器中抽气，从而实现并维持真空状态。其原理是通过不断抽取容器内部的气体分子，降低容器内部的压力，最终达到所需的真空度。
真空泵的种类
随着真空技术的不断发展，真空泵也衍生出多种类型，抽速范围从每秒零点几升到每秒几十万甚至数百万升。为了满足不同应用场景对真空度的要求，通常会将几种真空泵组合成真空抽气系统，协同运作以达到所需效果。
常用的真空泵类型包括：
干式螺杆真空泵
水环泵
往复泵
滑阀泵
旋片泵
罗茨泵
扩散泵
这些泵种在我国国民经济各个行业中广泛应用于真空工艺，是不可或缺的关键设备。
真空泵结构与传动方式
真空泵的结构主要由泵体和传动系统组成。
结构
根据泵体布置方式，真空泵可分为两种类型：
1. 立式结构: 进、排气口水平设置，便于装配和管路连接，但重心较高，高速运转时稳定性较差，常用於小型泵。
2. 卧式结构: 进气口在上，排气口在下，可根据系统需求调整排气口方向。重心较低，高速运转时稳定性好，常用于大、中型泵。
传动方式
真空泵的两个转子通过一对高精度齿轮实现同步运转。传动结构主要有两种方式：
1. 电动机与齿轮同侧: 电动机端齿轮直接带动从动转子，主动轴扭转变形小，转子间隙稳定，但结构复杂，加工装配难度大。
2. 电动机与齿轮异侧: 结构更简洁，重心分布更均匀，但主动轴扭转变形较大，需要更精确的间隙控制。
干式螺杆真空泵的特性
干式螺杆真空泵具有以下特点：
1. 在较宽的压力范围内具有较大的抽速；
2. 转子具有良好的几何对称性，振动小，运转平稳；
3. 无油密封和润滑，减少了油蒸气对真空系统的污染；
4. 结构简单紧凑，对灰尘和水蒸气不敏感；
5. 压缩比低，对氢气抽气效果差；
6. 转子表面形状复杂，加工和检查难度较大。
扩散泵工作原理
扩散泵通过高速油蒸汽流将系统内的气体分子带到侧臂弯管球泡处集结，然后由机械真空泵抽取，最终实现高真空。
常用真空泵工作原理
1. 水环式真空泵
水环式真空泵利用叶轮偏心旋转产生的水环来抽取气体。水环内表面与叶轮轮毂形成的空间不断变化，从而实现吸气和排气。
2. 旋片式真空泵
旋片式真空泵利用旋片在泵腔内旋转形成封闭空间来抽取气体，属于油封式机械真空泵。
3. 罗茨真空泵
罗茨泵利用两个相互啮合的转子旋转形成封闭空间，将气体从进气口吸入，再经排气口排出。整个过程中气体未被压缩或膨胀。
真空泵的性能取决于其机械结构和油的质量，因此保护真空泵至关重要。蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收，导致蒸气压升高，降低抽空效率。酸性气体则会腐蚀油泵，水蒸气则会使油变成乳浊液，从而损坏真空泵。
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