1、高程测量
1、选择一个仪器放置点，该点应与已知高程点保持视线通畅。
2、对准已知高程点，读取V值并计算W值。（此阶段与仪器高程相关的常数如测站点高程、仪器高、棱镜高可设为任意值，无需事先设定。）
3、将仪器的测站点高程调整为W，仪器高和棱镜高设为0即可。
4、对准待测点，测量其高程。
2、水平角测量
1、启用角度测量模式，调整全站仪，锁定第一个目标。
2、将A方向的水平度盘度数设定为0°00´00"。
3、对准第二个目标B，此时显示的水平度盘度数即为两目标的水平夹角。
4、进行水平角测量的仪器应具备水平位置的水平度盘，并且其水平度盘中心需在水平角顶点的垂线上。
3、坐标测量
1、设定测站点的三维坐标。
2、设定后视点坐标或后视方向的水平度盘读数为其方位角。当设置后视点坐标时，全站仪会自动计算并设定后视方向的方位角。
3、配置棱镜常数。
4、输入大气改正值或气温、气压数据。
5、测量仪器高、棱镜高并输入全站仪。
6、对准目标棱镜，按下坐标测量键，全站仪将开始测距并计算显示测点的三维坐标。
4、后交会测量
将全站仪放置于一个待确定的位置，通过对多个已知点的棱镜进行观测，并输入这些点的三维坐标及仪器和棱镜的高度后，全站仪会显示待定点的三维坐标。
5、放样测量
1、输入需要测设的角度和边长（或坐标值）至全站仪中。
2、在放样过程中，仪器将显示角度和边长的实际测量值与设定值的差异，根据显示的偏离值调整棱镜位置，直到偏差为零，此时棱镜位置即为设定点。
4、某些电子全站仪还可通过图形显示棱镜的移动方向。
6、悬高测量
1、当需要测量无法设置反射棱镜目标（如高压电线、桥梁桁架）的高度时，可在目标的正上方或下方设置棱镜，输入棱镜高度V。
2、瞄准棱镜并进行观测后，仪器将显示目标的高度H。
7、对边测量
如图所示：瞄准两个目标点的棱镜并进行观测，仪器将显示两个棱镜之间的平距(dHD)、斜距(dSD)以及高差(dVD)。
8、距离测量
1、设置全站仪的棱镜常数。
在测距之前，需将棱镜常数输入全站仪中，仪器会对测量距离进行自动修正。
2、接着，设置全站仪的大气改正值或气温、气压值。
由于光在大气中的传播速度会因温度和气压的变化而变化，标准条件下（15℃和760mmHg）的改正值为0ppm。输入实际温度和气压，仪器将自动计算并修正测距结果。
3、然后，测量仪器高、棱镜高并输入全站仪。
4、进行全站仪的距离测量。