在飞速发展的工业制造领域，产品表面的平整度成为衡量产品质量优劣的关键指标之一。平整度检测技术广泛应用于多个行业，如电子行业的电池或手机外壳平面度检测、半导体行业的液晶面板平面度检测等。
传统平整度检测方法存在效率低下、精确度不足等问题。LVDT（线性可变差动变压器）传感器以其独特优势，在物体平整度检测中得到了广泛的应用。
工作原理详解
LVDT是一种基于法拉第电磁感应定律工作的电磁感应式传感器。它由一个初级线圈和两个次级线圈组成，线圈缠绕在一个铁芯上。当铁芯处于中心位置时，两个次级线圈的输出电压相等且相位相反，导致输出电压为零。
当铁芯沿轴向移动时，两个次级线圈的输出电压会产生变化，这种变化与铁芯的位移呈线。通过测量输出电压的变化，可以精确地测得铁芯的位移。
LVDT传感器的构造特点
LVDT的外壳通常采用不锈钢保护套，内部设有高磁导率的磁层和防潮层，使其能够在恶劣的环境中工作，如强磁场、大电流、潮湿、粉尘等。部分工业级LVDT采用特种材料制成，如陶瓷密封或哈氏合金外壳，使其能够在高温、高压等极端环境下工作。
主要特性概览
01. 无摩擦测量：LVDT在使用过程中，铁芯和线圈之间无机械接触，因此无蹭擦、拖曳或其他摩擦途径。
02. 长久的机械寿命：由于铁芯和线圈之间通常无接触，故LVDT的部件不会相互摩擦或磨损，从而保证了其长久的机械寿命。
03. 高分辨率：LVDT理论上具有无限的分辨率，实际分辨率可达微米甚至纳米级，这主要取决于信号调理电路的性能。
04. 稳定的零位可重复性：LVDT的零点位置非常稳定且可重复，即使在其广泛的工作温度范围内也是如此。
05. 轴向敏感与径向迟钝：LVDT对铁芯的轴向运动非常敏感，对径向运动则相对迟钝，这使得LVDT适用于测量非直线运动的铁芯。
06. 快速的动态响应：由于操作过程中无摩擦存在，LVDT能够迅速响应铁芯位置的变化。
07. 绝对输出特性：LVDT输出与位置直接相关的模拟信号。在断电后重新上电，无需重新校准即可恢复测量。
LVDT在平整度检测中的应用实例
01. 工件平整度检测：通过接触工件表面，LVDT可测量工件表面的高度变化，从而评估其平整度。
02. 板材全面检测：在板材生产中，通过布局阵列式LVDT与自动化扫描机构配合，可实现大尺寸板材的全表面平整度映射。
03. 晶圆平整度检测（注意：需轻量化探头与低接触力设计）：在半导体行业中，晶圆的平整度对芯片性能至关重要。LVDT可精确测量晶圆表面的平整度。
兰宝LVDT接触式位移传感器的特点
兰宝LVDT接触式位移传感有微米级重复精度、多量程可选（5-20mm）、多种输出方式（模拟量、RS485等）、低感应头压力（仅3N），且无论金属或玻璃表面均可实现无磨损检测。其外形尺寸丰富，可满足各种应用空间的需求。